三坐標(biāo)測量儀是一種具有可作三個(gè)方向移動的探測器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個(gè)軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器。